Auflösungstest Stereomikroskop WILD M3Z

[Walter P.]

Liebe Kollegen!

Da immer wieder über die mögliche Vergrösserung und Auflösung von erschwinglichen Stereomikroskopen diskutiert wird habe ich einen Test beim meinem Wild M3Z durchgeführt.

Für den Test wurde folgende Komponenten verwendet:

Wild M3Z mit folgenden Beleuchtungseinrichtung:

- Koaxialbeleuchtung mit Tubusfaktor 1,5x
- Ringlicht (Volpi Kaltlichtbeleuchtung mit 180W Halogenlampe)
- Zwei Arme, LED Starlight IL

Folgende Objektive wurden verwendet:

1x Planachromat mit Schraubadapter (Tubusfaktor 1,25)
1,5x Achromat
2,0x Achromat

Okulare:
10x
15x
20x
32x

Als Testobjekt wurde eine auf einen Objektträger aufgeklebte Waferplatte mit Masterchip verwendet. Zum Test habe ich mit dem CZJ Vertival Stellen mit folgenden Linienabständen herausgemessen:

4,0 µm
3,0 µm
2,5 µm
2,0 µm

Bei den Versuchen zeigte sich bezüglich der Beleuchtung, dass die beste Auflösung mit der koaxialen Auflichtbeleuchtung erzielt wurde.
Bei Beleuchtung mit dem Ringlicht war die Auflösung nur unwesentlich schlechter. Mit den LEDs war die Auflösung merkbar schlechter.
Das Ringlicht konnte mit dem 2x Objektiv aufgrund des zu geringen Arbeitsabstands nicht getestet werden.

Mit den 32x Okulare war das Bild flau aufgrund der deutlichen Überschreitung der förderlichen Vergrößerung, eine Steigerung der Auflösung war nicht gegeben. Mit den Okularen 20x war die deutlich besser.
Gut war das Bild mit den 15x und 10x Okulare.

Für den weiteren Test der Auflösung wurden die 10x und 15x Okulare verwendet. Als Beleuchtung wurde das koaxiale Auflicht (Tubusfaktur 1,5x) verwendet.
Das Zoom wurde auf die höchste Stufe (40) gestellt.

Folgende Ergebnisse wurden mit dem 10x und 15x Okularen erzielt:

Objektiv                Vergrößerung          erkennbarer Linienabstand           berechnete L/mm

1,0x                     75x bzw. 113x             4,0 µm (gerade noch)                    250
1,5x                     90x bzw. 135x                       3,0 µm                                330
2,0x                   120x bzw. 180x              zw. 2,0 und 2,5 µm          zw. 500 und 400     

Seitens Leica Schweiz wurden mir vor längerer Zeit dankenswerterweise auf meine Anfrage hin folgende Daten für das M3Z bekannt gegeben:

Objektiv  1x Achromat (kein Planachromat)
NA      bei max Zoom     0,075
L/mm bei  max Zoom    225

Objektiv  2x Achromat
NA      bei max Zoom     0,15
L/mm bei  max Zoom    450

Aus den Werten ergeben sich folgende förderlichen Vergrößerungen:

Objektiv             förderliche Vergrößerung
1,0x                                32x - 75x
2,0x                                75x - 150x

Schönen Gruß
Walter