Hallo,
die Chipentwickler verewigen sich gerne mit einem kleinen Bildchen - ob das bei diesem Adler auch so ist kann ich nicht sagen, er gefiel mir aber. Ich habe mal etwas gespielt mit den Kontrastiermethoden. DIC lässt sich schön variieren durch verstellen des Prismas. Interessant fand ich, dass das Hellfeld so gut kommt. Dunkelfeld zeigt den Dreck besonders schön - der Chip lag schon eine ganze Zeit offen rum.
Übersichtsaufnahmen immer mit EpiPlanNeofluar 5x. Keine Stacks!
Geht später weiter Photobucket spinnt gerade! Spinnt immer noch aber weniger!
(https://www.mikroskopie-forum.de/pictures004/132628_59154362.jpg) (http://s106.photobucket.com/user/microklaus/media/Mikropraeparate%202012/Micropaeparate_2013/IMG_9066_zpsf32d2080.jpg.html)
(https://www.mikroskopie-forum.de/pictures004/132628_41227754.jpg) (http://s106.photobucket.com/user/microklaus/media/Mikropraeparate%202012/Micropaeparate_2013/IMG_9065_zps4ee1e9f2.jpg.html)
(https://www.mikroskopie-forum.de/pictures004/132628_49031915.jpg) (http://s106.photobucket.com/user/microklaus/media/Mikropraeparate%202012/Micropaeparate_2013/IMG_9063_zps119026f7.jpg.html)
(https://www.mikroskopie-forum.de/pictures004/132628_2241543.jpg) (http://s106.photobucket.com/user/microklaus/media/Mikropraeparate%202012/Micropaeparate_2013/IMG_9062_zps9def9b59.jpg.html)
Lieber Klaus
Interessante Ansichten. Ich habe mit photobucket auch so meine Probleme.
Dieses Tool ist der Grund, warum ich hier immer weniger Bilder reinstelle.
Ich habe Angst, mein Hals könnte eines Tages platzen. :)
Viele Grüße
Horst-Dieter
Lieber Klaus,
da hast Du ja was ausgegraben. Das ist ein alter 1 Megabit Speicher Chip von IBM ;D
Schöne Aufnahme!
Herzliche Grüsse
Eckhard
Danke lieber Eckhard für die Identifizierung!
Meine Frage: ist in diesem Fall der "Eagle" eine Typbezeichnung, oder die Signatur des Designers?
Lieber Klaus,
Zitatist in diesem Fall der "Eagle" eine Typbezeichnung, oder die Signatur des Designers?
Eagle war der interne Projektname. Die ganze Geschichte ist zu lang zum aufschreiben, aber ich erzähl sie Dir gerne mal bei einer Flasche Wein in Darmstadt (wenn Du mich daran erinnerst).
Hier nur soviel: dies war der erste 1 MBit Chip in Serienfertigung.
Herzliche Grüsse
Eckhard
Hier schon mal der Name des Designers:
http://micro.magnet.fsu.edu/creatures/pages/ibmeagle.html
Herzlich
Martin
Vielen Dank für die Infos Eckhard und Martin,
das ist ja dann schon ein Stück Computergeschichte und der Chip "antik" ;) Ich habe aber noch viel ältere von einem pensionierten IBM´ler. Das sind Drahtgitter die mit kleinen Ringen verbunden sind an den Kreuzungsstellen. Muss ich mal suchen in der Rubrik "altes Zeugs".
Dann zeige ich noch ein paar Bilder in höherer Vergrößerung:
Bei den ersten beiden sieht man wie durch Variation des DIC-Kontrasts unterschiedliche Details sichtbar werden. Und dann noch ein Pärchen Pol und DF, auch die ergänzen sich sehr gut.
Auch hier keine Stacks.
(https://www.mikroskopie-forum.de/pictures004/132664_59828149.jpg) (http://s106.photobucket.com/user/microklaus/media/Mikropraeparate%202012/Micropaeparate_2013/IMG_9067_zps547b7fd3.jpg.html)
(https://www.mikroskopie-forum.de/pictures004/132664_66157888.jpg) (http://s106.photobucket.com/user/microklaus/media/Mikropraeparate%202012/Micropaeparate_2013/IMG_9068_zpseb3a6c4c.jpg.html)
(https://www.mikroskopie-forum.de/pictures004/132664_31922778.jpg) (http://s106.photobucket.com/user/microklaus/media/Mikropraeparate%202012/Micropaeparate_2013/IMG_9076_zpsdaff16db.jpg.html)
(https://www.mikroskopie-forum.de/pictures004/132664_40292120.jpg) (http://s106.photobucket.com/user/microklaus/media/Mikropraeparate%202012/Micropaeparate_2013/IMG_9075_zps64ffb6ab.jpg.html)
Hallo,
nur zur Orientierung: die beiden letzten Bilder sind ein Ausschnitt des Schriftzuges im 1. Bild rechts oben DD4
Mit dem 50er HD Epiplanneofluar aufgenommen.
Hallo Klaus.
Meinst Du "Ringkernspeicher"? (Das war noch echte Näharbeit) ;)
Für die brauch man aber kein Mikroskop.
Bei modernen Chips hilft glaube Ich kein Lichtmikroskop mehr. :(
Bei 30-22nm Fertigungstechniken.
Wie werden die überhaupt hergestellt?
Danke fürs Zeigen. :)
Liebe Grüße Jorrit.
Hallo Jorrit,
genau "Ringkernspeicher" aber wenn ich sie recht in Erinnerung habe würde ein Stemi schon helfen.
Moderne Chips werden mit Röntgenlithos hergestellt wenn ich als Rechnerexperte ;D das richtig im Kopf habe.
Also ganz kurze Wellenlänge dadurch höchste Auflösung.
Hallo Klaus!
Schöne Bilder, sehr interessant!
Liebe Grüße
Franz
Lieber Klaus,
ich hoffe ich begehe keinen zu großen Fauxpas wenn ich noch ein Kontrastverfahren zu Chip-Aufnahmen beisteuere.
Du hast die IR-Technik noch nicht erwähnt ;)
(https://www.mikroskopie-forum.de/pictures004/132737_62572558.jpg)
Ausschnitt aus einem IC-Wafer
(https://www.mikroskopie-forum.de/pictures004/132737_33483306.jpg)
wie vorher mit Auflicht DIC (Olympus) als Vergleichsaufnahme
Olympus mit BH2-UMA und NeoDplan 5x mit DIC-Prisma.
Für alle IR-Aufnahmen muß natürlich auch für gute Transmission des Beleuchtungsstrahlengangs gesorgt werden. Oft ist versteckt ein IR-Schutzfilter eingebaut. Hier am Beispiel Olympus BH-2. Erst nach Ausbau steht genügend Energie zur Verfügung um durch dickere Si-Schichten zu kommen. Als Kamera wurde die kleine DMK72 eingesetzt. Rauschreduzierung schon bei der Aufnahme durch Mittelung von 32 Bildern.
(https://www.mikroskopie-forum.de/pictures004/132737_30922786.jpg)
Mit IR-Schutzfilter ist eine Aufnahme wie aus der Grafik ersichtlich nicht möglich.
Schöne Grüße
Peter
Hallo Peter!
Rein interessehalber - hast Du diese Aufnahmen schon einmal mit einer IR-LED probiert? Ich weiss schon.....Halogen kann das und man braucht kein Einstelllicht usw....?
Das IR Bild finde ich extrem spannend!
Liebe Grüße
Franz
Hallo Franz,
bisher habe ich noch keine kräftige IR-LED mit einem Maximum über 1000nm. Oft enden die IR-LEDs bei 950nm und damit kommt man nicht durch Si durch. Selbstverständlich gibt es Dioden über 1000nm, aber die kosten auch reichlich.
Hier der Transmissionsverlauf von reinem Silizium mit einer Stärke von 0,5mm. Da die Kamera aber auch nicht wesentlich über 1050nm empfindlich ist, hat man ein sehr schmalbandiges System. Die ges. Einstellung wird sowieso nur über den PC und Monitor vorgenommen. Das verwendete Objektiv hat eine gewaltige chromatische Längsaberration. Also Einstellung im sichtbaren Bereich ist absolut unmöglich.
(https://www.mikroskopie-forum.de/pictures004/132744_3292401.jpg)
Gruß
Peter
Lieber Peter,
danke für diese schöne Erweiterung - damit kann ich nicht dienen, ich hab keine IR-Kamera.
Dein Chip sieht auch so aus, als ob vorher die schwäbische Hausfrau ordentlich ihre Kehrwoche gemacht hat. Meiner hat über die Jahre Staub gesammelt, dafür ist er aber auch antik! ;)
von
Zitat von: Klaus Herrmann in August 30, 2013, 22:11:38 NACHMITTAGS
Moderne Chips werden mit Röntgenlithos hergestellt wenn ich als Rechnerexperte ;D das richtig im Kopf habe.
Also ganz kurze Wellenlänge dadurch höchste Auflösung.
Lieber Klaus,
das war mal eine Illusion in die viel Forschungsgeld geflossen ist und die auch durch anderen "Experten" falsch eingeschätzt wurde.
Auch hier regiert nach wie vor das Licht und wird es aller Vorraussicht nach weiterhin tun.
Die derzeit produzierten kleinsten Strukturen in den modernen Chips mit < 40 nm werden mit 193 nm DUV Wellenlänge (ArF Excimerlaser) und einem Zeiss WasserImmersionsobjektiv Starlith 1950i belichtet.
Und die ersten Prototypen von 13,5 nm EUV Belichtungsobjektiven für Strukturen kleiner 30nm sind auch schon ausgeliefert worden. Das extrem kurzwellige Licht mit 13,5 nm wird über
Plasmaquellen erzeugt.
Hallo Jorrit,
wieso sollen die derzeitigen Mikrochips, die mit 193 nm Lichtimmersion belichtet sind, nich acuh mit Lichtmikroskopie inspiziert werden können. Man muss eben nur mit 193 nm und Wasserimmersionsobjektiven und entsprechenden UV Detektoren draufschauen (Physik bleibt Physik) ? Das sind natürlich keine gewöhnlichen Lichtmikroskope mehr, aber die hierfür speziell entwickelten Halbleiterinspektionssysteme können dies.
viele Grüsse
Wilfried
Hallo Peter,
das habe ich nicht bedacht - du hast Recht, die meisten haben ihren Schwerpunkt bei 950nm und das ist zu knapp!
Wie heisst es: ein Diagramm sagt mehr als 1000Worte!
Hallo Wilfried!
Danke für die spannende Erklärung!
Liebe Grüße
Franz
Zitat von: wilfried48 in August 31, 2013, 14:20:16 NACHMITTAGS
von Zitat von: Klaus Herrmann in August 30, 2013, 22:11:38 NACHMITTAGS
Moderne Chips werden mit Röntgenlithos hergestellt wenn ich als Rechnerexperte ;D das richtig im Kopf habe.
Also ganz kurze Wellenlänge dadurch höchste Auflösung.
Lieber Klaus,
das war mal eine Illusion in die viel Forschungsgeld geflossen ist und die auch anderen "Experten" falsch eingeschätzt wurde.
Auch hier regiert nach wie vor das Licht und wird es aller vorraussicht nach weiterhin tun.
Die derzeit produzierten kleinsten Strukturen in den modernen Chips mit < 40 nm werden mit 193 nm DUV Wellenlänge (ArF Excimerlaser) und einem Zeiss WasserImmersionsobjektiv Starlith 1950i belichtet.
Und die ersten Prototypen von 13,5 nm EUV Belichtungsobjektiven für Strukturen kleiner 30nm sind auch schon ausgeliefert worden. Das extrem kurzwellige Licht mit 13,5 nm wird über
Plasmaquellen erzeugt.
Hallo Jorrit,
wieso sollen die derzeitigen Mikrochips, die mit 193 nm Lichtimmersion belichtet sind, nich acuh mit Lichtmikroskopie inspiziert werden können. Man muss eben nur mit 193 nm und Wasserimmersionmikroskopen und entsprechenden UV Detektoren draufschauen (Physik bleibt Physik) ? Das sind natürlich keine gewöhnlichen Lichtmikroskope mehr, aber die hierfür speziell entwickelten Halbleiterinspektionssysteme können dies.
viele Grüsse
Wilfried
Hallo Wilfried
Ich konnte / kann mir immer noch nicht vorstellen, wie man z.B. 20nm Strukturen mit einer 193nm Wellenlänge erzeugt. ( ???, grübel )
Ist das nicht eine Art Paradoxon? Die Wellenlänge ist doch dann ca. 10x größer als die zu erzeugende Struktur.
Daher auch meine Frage.
Liebe Grüße Jorrit.
Hallo Jorrit,
nein bei 20 nm Stukturen geht das nicht mehr, da braucht man dann EUV Lithographie.
Aber 40 nm Strukturen kann man mit 193 nm noch belichten. 40 nm Strukturbreite bedeutet eine Gitterperiode von 80 nm und das ist nur etwas weniger als die halbe Wellenlänge.
Dann gibt es noch den Trick mit sogenannten Phasenmasken zur Kontraststeigerung mit denen man noch etwas Auflösung gewinnnen kann.
Die Erklärung dazu findest du hier: http://de.wikipedia.org/wiki/Fotomaske
viele Grüsse
Wilfried
Danke für den Link Wilfried.
Jetzt bin Ich etwas schlauer. :)
Wenn Ich da an den alten Werbefilm von MOS Technologies aus den 80-zigern denke. ;) :)
Liebe Grüße Jorrit.