Ausschnitte von ICs mit 100x/1,4 Objektiv im Auflicht

[reblaus]

Hallo -

angeregt von Carstens Schnappschuss habe ich mal einen Microcontroller MB96F346 unter die Lupe genommen. Mein Zeiss PA 100x/1,4 ist eigentlich für Durchlicht bestimmt, ebenso der zugehörige DIC-Schieber.
    Aber siehe da! Mit Auflicht-DIC scheint alles bestens zu funktionieren. Das freut mich, denn leider habe ich an meinem Axio fürs Durchlicht nur den nichtoptimalen 1,4-DIK-Kondensor korr: 0,9-DIK-Kondensor, aber den braucht man ja bei Auflicht nicht.

Das Foto musste ich stacken, denn es werden Leiterbahnen etc. unterschiedlicher Lagen abgebildet und das Präparat ist leider nicht 100% eben.
Die Leiterbahnen (die dunklen liegen über den grünen) sind etwa 1 µm breit

Fortsetzung folgt

Viele Grüße

Rolf

[reblaus]

Nun habe ich mal weitergemacht, mit DIK gespielt und die Fotos bearbeitet.
  Leider sind meine Kenntnisse über diese hochkomplexen und mehrschichtigen ICs nur oberflächlich und auf dem Niveau der Jahrtausendwende stehen geblieben - so alt dürfte auch dieser Prozessor sein, die Strukturen der heutigen sind ja mit Amateur-Lichtmikroskopie nichts.
  Weiß jemand worum es sich bei diesen Rastern aus rundlichen (hier gelben) Punkten handelt. Kondensor-Funktionen?
  In der unteren Bildhälfte befinden sich Rechtecke aus bläulich schimmernden Strukturen mit braunen Leiterbahnen - evt. Transistor-Funktionen? Diese liegen grob geschätzt etwa 4 µm tiefer als die gelben Punkte.
  Die braune, waagerechte Reihe rechteckiger Punkte über den fraglichen Rechtecken liegt etwa 2 µm höher, d.h. etwa 2 µm tiefer als die Oberschicht mit den gelben Bahnen.
  Die Höhenlagen sind aus den Einzelbildern für den Handstack grob geschätzt und mir ist natürlich klar, dass aus den Interferenzfarben wenig abzuleiten ist, die im Auflicht-DIC mit schlecht definierter Stellung des DIK-Schiebers entstanden.

Viele Grüße

Rolf

[reblaus]

Nun habe ich mal weitergemacht, mit DIK gespielt und die Fotos bearbeitet.
  Leider sind meine Kenntnisse über diese hochkomplexen und mehrschichtigen ICs nur oberflächlich und auf dem Niveau der Jahrtausendwende stehen geblieben - so alt dürfte auch dieser Prozessor sein, die Strukturen der heutigen sind ja mit Amateur-Lichtmikroskopie nichts.
  Weiß jemand worum es sich bei diesen Rastern aus rundlichen (hier gelben) Punkten handelt. Kondensor-Funktionen?
  In der unteren Bildhälfte befinden sich Rechtecke aus bläulich schimmernden Strukturen mit braunen Leiterbahnen - evt. Transistor-Funktionen? Diese liegen grob geschätzt etwa 4 µm tiefer als die gelben Punkte.
  Die braune, waagerechte Reihe rechteckiger Punkte über den fraglichen Rechtecken liegt etwa 2 µm höher, d.h. etwa 2 µm tiefer als die Oberschicht mit den gelben Bahnen.
  Die Höhenlagen sind aus den Einzelbildern für den Handstack grob geschätzt und mir ist natürlich klar, dass aus den Interferenzfarben wenig abzuleiten ist, die im Auflicht-DIC mit schlecht definierter Stellung des DIK-Schiebers entstanden.

Viele Grüße

Rolf