Woher solche Testpräparate?

[Jürgen Boschert]

Hi Eddy,

no´p ! Again this is a test slide for lower magnifying stereo microscopes and macroscopes - as stated by the seller.

Regards.

JB

[wilfried48]

Hallo liebe Teststrukturinteressenten,

da ein solches Testobjekt Strukturen bis herunter zu 0,2 µm also zur Auflösungsgrenze der Lichtoptik enthalten soll, kann es schwerlich mit Massenproduktionsmethoden der Lichtlithografie hergestellt werden. Ein entsprechender lichtoptischer UV Stepper, wie er beispielsweise in der Microchipherstellung eingesetzt wird, kostet um die 25 Millionen und setzt daher entsprechende Massenproduktion vorraus, damit es billig wird.

Eine Alternative wäre das direkte Belichten oder Schreiben mit dem fokussierten Elektronen- bzw. Ionenstrahl (kürzere Wellenlänge). Aber auch da ist dann noch Equipment mit ca. 1 bis 2 Millionen im Einsatz und die Herstellung erfordert ca. 1 Stunde Maschinenzeit und da kann sich dann jeder ausrechnen, dass es unter einige hundert Euro nicht geht.

Ich habe vor ca. einem halben Jahr hier im Forum angekündigt, dass ich so etwas mit dem Ionenstrahlschreiber mal angehen will und über die Fortschritte hier laufend berichten werde. Nun ist bei mir halt auch der bekannte Effekt eingetreten, dass ich, seit ich "Teilzeitrentner" bin, noch weniger Zeit habe als vorher.

Trotzdem will ich euch den derzeitigen Stand nicht vorenthalten:



Die Abbildung zeigt einen Abdruck einer im Original mit dem fokussierten Ionenstrahl aus einem CAD System geschriebenen Teststruktur.
Das Original enthält Strukturen bis herunter zu 0,1 µm.
Sie Strukturgrössen sind immer mit der Linienbreite der jeweiligen Struktur in Mikroschrift rechts neben die Struktur geschrieben.
Die Linienbreite der Schrift Ernst Abbe mit Auflösungsformel beträgt 0,5 µm
Die Linienbreite der Schrift Copyright Nisch 2008 beträgt 0,4 µm
Der Abdruck der Strukturen vom Original ist mit einem thermisch aushärtenden Photolack gemacht, der einen ähnlichen Brechungsindex hat, wie lichtoptische Einbettmittel. Die Abdrücke vom Original lassen sich dann schnell und billig herstellen.
Man sieht, dass ich im Moment noch Probleme mit der Abdruckmethode habe (Thermische Verformungen).
Aber bis herunter zu 0,3 µm ist das Testobjekt doch schon mal brauchbar. An dem Anspruch der 0,2 µm für Herrn Höbels UV - Mikroskopie arbeite ich noch.
Die Aufnahme des Testobjekts wurde mit einem Olympus Auflichtmikroskop BX 50 mit einem Planachromat 100x0,9 im Nomarski DIC Kontrast erzeugt. Beim direkten Durchsehen durch das Okular sieht man die 0,2 µm Struktur auch noch andeutungsweise aufgelöst.

Zur Zeit "arbeite" ich an der Verbesserung des Abruckverfahrens.

Mikrolithografische Grüsse

Wilfried

[bewie]

Hallo Wilfried,

ist doch schon mal ganz toll! Wenn der Lack noch ein wenig ebener wird und der Preis nicht allzu rauh, dann hast Du mich als Kunden!

Schöne Grüße
Bernd