An die Schleifer unter euch: Einen „die” polieren?

[Kiloph]

Hallo,

wie realisierst Du die Führung?

Durch Einbetten des Chips in Kunststoff auf einer Glasplatte:
Dazu den Chip mit der aktiven Seite (vorher alle Bonddrähte glatt entfernen!) zum Glas legen und aufkleben. Ich verwende Schellack aus den gleichen Gründen warum man ihn auch als Deckglaslack verwendet. Anschließend Einbetten in Kunststoff (nichts besonderes, beliebiges Mittel aus der Metallographie) mit einer genauso aufgeklebten Form. Das Ablösen vom Glas funktioniert auch ohne vorheriges Einfetten.

Bei dem weiteren Vorgehen ist die Idee sich an den selektiven Ätzprozessen der Fertigung zu orientieren. Der Einsatz der üblen Chemikalien wird durch Schleifen umgangen, vor allem die Quarzschicht kann man so abtragen. Die Metallisierung ist fast immer aus Aluminium (schmiert teilweise) und kann sehr gut mit NaOH oder HCl entfernt werden.

Verbliebene Quarzschichten sind nicht besonders störend bei Ölimmersion (ähnlicher Brechungsindex, Vorsicht mit der Chemie bei hochwertigen Optiken!).
Das Schleifen mit SiC Papier hat den Vorteil, dass das Korn fest gebunden ist, aber die Standzeit ist nicht sehr lang.

Es klappt nicht immer wie gewünscht. Ungenauigkeiten beim Schleifvorgang stören ebenso wie unerwartete Zwischenschichten. Die Chips unterscheiden sich natürlich auch in Prozessen und Schichtdicken.

Der Chip ist in nMos Technik aufgebaut

Vermutlich ist es CMOS Technologie?

nicht lebensgefährlichen Mixturen zum säurefreien Entkapseln

Ich hatte mal von Kolophonium gehört, das war im Versuch aber nicht angenehmer...


Die eigentliche Schwierigkeit ist nicht die Präparation, sondern das Bild dann auch zu interpretieren.
Gerade Bilder von großen Chips sind bunt und ansprechend, es ist kaum möglich die komplexen Strukturen vollständig zu verstehen. Deswegen muss das Ziel sein zumindest die Funktionsblöcke zu erkennen und Teilabschnitte genau zu verstehen.
Hilfreich ist dabei die Literatur zum Entwurf von Schaltungen, zum Beispiel K.-H. Cordes, A. Waag, N. Heuck: Integrierte Schaltungen.


Viele Grüße

Kilian

[treinisch]

Hallo Kilian,

vielen Dank für Deine Ausführungen!

Der Chip ist in nMos Technik aufgebaut

Vermutlich ist es CMOS Technologie?

sollte NMOS sein, es gibt von einem späteren Lizenzprodukt ausdrücklich eine CMOS Version.

nicht lebensgefährlichen Mixturen zum säurefreien Entkapseln

Ich hatte mal von Kolophonium gehört, das war im Versuch aber nicht angenehmer...

naja, da wäre ich mir auch nicht sicher, ob das sooo viel ungefährlicher ist.

Die eigentliche Schwierigkeit ist nicht die Präparation, sondern das Bild dann auch zu interpretieren.

ja, ist schon irgendwie richtig, wobei es mir im Moment wirklich vorrangig um das gute Bilde geht.


Vlg

Timm