Paraphysomonas oder die Erfindung der Reißzwecke

[wilfried48]

Lieber Eckhard,

........... Kleine Kritik: es sind magnetische Felder, die den Elektronenstrahl ablenken und formen, erzeugt durch Magnetspulen.

Das ist, zumindest historisch, nicht ganz unwichtig, denn das erste EM von Zeiss, das EM 8 von Zeiss/AEG, hatte tatsächlich elektrostatische Linsen. Das Prinzip hat sich aber nicht durchgesetzt, weil solche Linsen wesentlich schlechtere optische Eigenschaften haben.

Herzliche Grüße
Detlef

Lieber Detlef und Eckhard,

beides ist richtig.  In den konventionellen Rasterelektronenmikroskopen ist nur noch die erste Strahlformungslinse zur Elektronenstrahlbeschleunigung elektrostatisch alle anderen Verkleinerungslinsen und auch der Stigmator sind elektromagnetisch.
Aber die elektrostatischen Linsen haben gewaltig aufgeholt. Das neueste Zeiss Helium Rasterionenmikroskop hat nur elektrostatische Linsen (weil es bei Ionen gar nicht anders geht) und steht im Auflösungsvermögen den besten Rasterelektronenmikroskopen in nichts nach.

viele Grüsse
Wilfried