Fragen an Wafer- und Chip- (besonders DRAM -) Experten

[reblaus]

Hallo -

natürlich konnte ich es nicht lassen Jürgen (B.s) Angebot wahrzunehmen und habe eines seiner tollen Präparate erworben - vielen Dank nochmal.
Es handelt sich dabei um einen RAM-Baustein, vermutlich DRAM.
     Foto 1 zeigt einen Gesamtüberblick per Auflicht-DIC mit dem HD-PlanNeofluar 5x. Die Original-Aufnahme im APS-C-Format ist hier auf 50 % reduziert, aber die Strukturen des Chips sind recht groß (Leiterbahnen ca. 5µm breit).
     Deshalb wäre für die Ausschnittaufnahmen (auf 25 % reduziert) kein PlanApo 100x nötig gewesen, aber es macht halt den schönsten DIC, vor allem wenn man bedenkt, dass es nicht für Auflicht gedacht ist! Außerdem hat ja Jürgen in seinem Angebot schon einen Ausschnit mit einer mittleren Vergrößerung gezeigt

     Interessant ist, das hier im DIC und Normal-Auflicht viel weniger Farben sichtbar sind, auch wirklich nur Oberflächenstrukturen und nicht (wie bei meinen bisher studierten CPUs) auch noch ein oder zwei Layer darunter. Vermutlich sind diese hier wesentlich dicker, sodass kein Licht mehr durchkommt.
     Frage 1: Der Baustein ist mit "ANGELA 94000A" gekennzeichnet. Die Recherche im Netz führt zu DRAM-Modulen mit 4 MBit-Bausteinen. Aber wenn ich die Strukturen hier vermesse, die Zeilen etc. abzähle und versuche die Werte an Hand des DRAM-Artikel in Wikipedia zu interpretieren, komme ich auf viel weniger RAM. Allerdings sieht man ja auch nur die Oberfläche - weiß jemand mehr?

Frage 2: Ich versuche die in Wikipedia geschilderten Bestandteile von DRAM (Transistor, Kondensator, Bit- und Wort-Leitungen, Leseverstärker etc.) manchmal zuordnen zu können. Kann vielleicht jemand auf Grund eigener Fachkenntnisse was dazu sagen?

Ganz dumme Frage 3: Sind die Dimensionen der Strukturen für DRAM mit 5 µm nicht eigentlich viel zu groß? Als DRAM Ende des letzten Jahrausends aufkam waren diese doch eigentlich schon viel winziger ...

Fachleute mögen meine naiven Fragen entschuldigen, meine einschlägigen Elektronik- Bastelkenntnisse stammen aus den Jahren als gerade der Transistor in Mode kam.

Viele Grüße und Dank im Voraus für Tips!

Rolf
 

[reblaus]

Hallo -

eingangs habe ich ja nur eine Übersichtsaufnahme mit dem 5x HD EpiplanNeo und einige Details mit demPlanApo 100x/1.4 (Aufsicht) gezeigt, jetzt folgt als Kompromiss ein komplettes Panorama des DRAM-Chips. Es ist mit dem HD EpiPlanNeo 20x angefertigt und ich war überrascht, dass auch diese Auflösung ausreichen würde um Details der Schaltung zu identifizieren - wenn ich denn die nötigen Fachkenntnisse hätte.
Das angehängte Foto zeigt wieder einen winzigen Ausschnitt an einer Ecke eines Memory-Areals. Gegenüber dem Panorama ist die Auflösung wie oben halbiert, reicht in Anbetracht der einige µ breiten Leitungen und Transistorstrukturen aber noch völlig aus.

Zur vollen Pracht kann der Chip auf meiner Homepage (https://www.phylloxera.de) aufgeblasen werden - dort in der Liste oben "DRAM" anklicken oder direkt aufrufen:

https://www.phylloxera.de/DRAM/tour.html

Viele Grüße

Rolf

[Nochnmikroskop]

Hallo Rolf,

die Aufnahmen mit dem 100/1,4 sind ja detailreich, trotz fehlender Immersion. Hast Du den Bereich vorher nochmals irgendwie gereinigt? Im Vergleich zum 20x Panorama sieht man was ich meine.

Vergleich Rolfs Aufnahmen


Ich habe auch einen Test-Wafer von Jürgen bekommen, dieser sieht auch so aus, wie bei Deinem 20x, also mit Kristallen?? entlang der Kanten. An einem Teil habe ich mal etwas Essigessenz aufgetragen und kurz einwirken lassen - ohne Veränderungen.

Ich finde den Bereich mit dem "Zebrastreifen" recht interessant. Wenn man da etwas seitlich beleuchtet erkennt man die Höhenunterschiede.

Ausschnitt Test-Wafer: Segmentiertes (1/4) Koaxiallicht, Nachbearbeitung mit ACDSee.


LG Frank

[reblaus]

Hallo Frank -

meine Fotos mit dem 1,4er sind natürlich mit Immersion. Bei dieser Apertur habe ich das nicht extra erwähnt. Möglicherweise sind die Partikel durchsichtige Reste von Einbettung/Kleber und fallen dann in der Immersion durch ähnlichen Brechungsindex nicht so auf. Außerdem hat man es bei einer 100x Vergrößerung auch leichter eine möglichst saubere Stelle zu suchen  .

Gruß

Rolf