Wafer im Auflicht Hellfeld, Dunkelfeld und DIC

abbeköhl · Mai 21, 2014, 09:07:30 VORMITTAG

Ein herzliches hallo zusammen,

Ich habe mir mal diesen Wafer gekauft, und im Auflicht Hellfeld, Dunkelfeld und DIC angeschaut.
Das Mikroskop war das Olympus BX51 mit dem U-DICRHC(Auflicht High Contrast DIC System) und der Canon EOS 70D Kamera.
Die verwendeten Objektive waren von der UMPlanFL - BD und der LMPlanFL - BD Serie. Als Software kahm Canon EOS Utility und der Photoshop zum Einsatz.

Hier ist noch ein interessanter Film über die Waferherstellung

Dunkelfeld Übersichtsbild (im Photoshop gesticht) UMPlanFL - BD 10x/0,30 Objektiv

Zum Downloaden (7804 x 7399) 56MB

Hellfeld Übersichtsbild (im Photoshop gesticht) UMPlanFL - BD 10x/0,30 Objektiv

Zum Downloaden (7846 x 7518) 57MB

Dunkelfeld Bildausschnitt UMPlanFL - BD 10x/0,30 Objektiv

Hellfeld gleicher Bildausschnitt UMPlanFL - BD 10x/0,30 Objektiv

DIC gleicher Bildausschnitt LMPlanFL - BD 20x/0,40 Objektiv

DIC Bildausschnitt LMPlanFL - BD 50x/0,50

DIC(andere Einstellung) gleicher Bildausschnitt LMPlanFL - BD 50x/0,50

DIC(andere Einstellung) anderer Bildausschnitt LMPlanFL - BD 50x/0,50

DIC(andere Einstellung) gleicher Bildausschnitt LMPlanFL - BD 50x/0,50

DIC(andere Einstellung) anderer Bildausschnitt LMPlanFL - BD 50x/0,50

Nachtrag: Ich habe in einem anderen Sektor eine extreme Müllhalde entdeckt.

Der Sektor hat auch eine andere Oberfläche.

Dunkelfeld Übersichtsbild (im Photoshop gesticht) UMPlanFL - BD 5x/0,15 Objektiv

Zum Downloaden (3749 x 3910) 4,3MB

Hellfeld Übersichtsbild (im Photoshop gesticht) UMPlanFL - BD 5x/0,15 Objektiv

Zum Downloaden (3749 x 3931) 4,6MB

DIC Bildausschnitt LMPlanFL - BD 20x/0,40 Objektiv

Anderer Bildausschnitt, ein paar verschiedene Einstellungen, LMPlanFL - BD 50x/0,50

Herzliche Grüsse aus der Schweiz,,, Reto

Klaus Herrmann · Mai 21, 2014, 11:34:00 VORMITTAG

Hallo Reto,

mit gutem Equipment und ordentlich Aufwand kann man solche schönen Bilder machen. Danke, ein Genuss!

Der Link zu dem Video lohnt sich auch, so schön habe ich der Fertigungsprozess für moderne Chips noch nie gesehen. Dabei sind mir 2 Dinge aufgefallen: trotzt hohem Automatisierungsgrad gibt es noch viele manuelle Schnittstellen und die Fertigung ist hier nicht in einem Billiglohnland. Nebenbei: die Mikroskope sind von Nikon und DIC ist das das Mittel der Wahl!

the_playstation · Mai 21, 2014, 11:58:34 VORMITTAG

Hallo Reto.
Danke fürs Zeigen. Der Chip ist ja nicht sehr stark integriert.
Ich liebe so "alte" Chips bzw Chips, die nicht so dicht gepackt sind, da diese sehr viel schönere Bilder liefern.

Liebe Grüße Jorrit.

koestlfr · Mai 21, 2014, 13:54:16 NACHMITTAGS

Hey Reto!

Ich sag´s nochmal.....sensationell! Das hat was meditatives!

Olykrishnas sei Dank!

Tschau
Franz

peter-h · Mai 21, 2014, 14:21:18 NACHMITTAGS

Hallo Reto,

diese Waver müssen zu Tausenden verschrottet worden sein. Fast auf jedem Flohmarkt zu finden. Und wie es der Zufall will, habe ich vor einem Jahr auch solche Aufnahmen gemacht. Olympus BH2 mit UMA und einem Neo SPlan 10x mit DIC. Hier nur ein kleiner Ausschnitt. Selbst das uralte BH-2 bringt noch Bilder zustande.
IR-Aufnahmen im Durchlicht sind auch noch schön, aber das paßt hier nicht her.

Viele Grüße
Peter

abbeköhl · Mai 21, 2014, 22:26:50 NACHMITTAGS

Hallo zusammen, vielen Dank für euren Kommentar.

Zitat von: Klaus H.mit gutem Equipment und ordentlich Aufwand kann man solche schönen Bilder machen. Danke, ein Genuss!

Ausser ich versaue es.

Zitat von: Klaus H.Der Link zu dem Video lohnt sich auch, so schön habe ich der Fertigungsprozess für moderne Chips noch nie gesehen. Dabei sind mir 2 Dinge aufgefallen: trotzt hohem Automatisierungsgrad gibt es noch viele manuelle Schnittstellen und die Fertigung ist hier nicht in einem Billiglohnland. Nebenbei: die Mikroskope sind von Nikon und DIC ist das das Mittel der Wahl!

Was den Film angeht, ging es mir genau so. Aber in Sachen DIC kann ich leider nicht mitsprechen, da fehlt mir deine Erfahrung. Ich konnte noch keine Vergleiche mit anderen Auflicht DIC Systemen machen.

Zitat von: JorritDanke fürs Zeigen. Der Chip ist ja nicht sehr stark integriert.

Gern geschehen. Ich war am Anfang fast etwas entäuscht über die einfache Arkitektur, aber zum üben und testen ist es gar nicht mal schlecht.

EPROM's unter dem Mikroskop, wie in deinem Thread würden mich auch reitzen.

Zitat von: Franz K.Ich sag´s nochmal.....sensationell! Das hat was meditatives!

Aber nicht dass du mir vor dem Monitor noch einschläfst.

Zitat von: Peter H.diese Waver müssen zu Tausenden verschrottet worden sein. Fast auf jedem Flohmarkt zu finden.

Es sieht fast danach aus.

Zitat von: Peter H.Und wie es der Zufall will, habe ich vor einem Jahr auch solche Aufnahmen gemacht. Olympus BH2 mit UMA und einem Neo SPlan 10x mit DIC. Hier nur ein kleiner Ausschnitt. Selbst das uralte BH-2 bringt noch Bilder zustande.

Und was für Bilder,,, sehr schön. Ich finde du hattest dein DIC optimal eingestellt für diese Aufnahme. Danke fürs zeigen. Ich finde es gibt leider relativ wenig Beiträge über solche Sachen, oder ich habe zu wenig gesucht im Forum.

Zitat von: Peter H.IR-Aufnahmen im Durchlicht sind auch noch schön, aber das paßt hier nicht her.

Ja,,, im IR Bereich kann mann auch interessante Aufnahmen machen wie dieses Beispiel zeigt.

Herzliche Grüsse aus der Schweiz,,, Reto

abbeköhl · Mai 26, 2014, 18:07:43 NACHMITTAGS

Hallo zusammen,

Ich habe zum Schluss noch DIC-Slideshow's mit verschiedenen Einstellungen.

Slideshow 1 (anklicken) LMPlanFL - BD 20x/0,40 Objektiv
Slideshow 2 (anklicken) LMPlanFL - BD 20x/0,40 Objektiv

Herzliche Grüsse aus der Schweiz,,, Reto

Markus1201 · Mai 28, 2014, 00:44:51 VORMITTAG

Hallo Reto!

Ich finde deine Bilder sehr gelungen. Machst du sie nur aus Freude an der Mikroskopie oder möchtest damit auch Analysen durchführen?

Viele Grüße
Markus

abbeköhl · Mai 28, 2014, 11:35:43 VORMITTAG

Hallo Markus,

Zitat von: DirIch finde deine Bilder sehr gelungen. Machst du sie nur aus Freude an der Mikroskopie oder möchtest damit auch Analysen durchführen?

Es freut mich, dass dir die Aufnahmen gefallen. Ich mache das nur aus Freude an der Mikroskopie und aus Neugier. Mit Analysen im µm und nm Bereich in der Elektrotechnik beschäftige ich mich nicht.

Mir ging es bei den Bildern eigentlich nur darum den Unterschied zwischen den verschiedenen Auflicht-Kontrastverfahren zu demonstrieren, ohne die Bilder zu beschönigen(retuschieren).
Man könnte bei den DIC Bildern noch mehr herausholen, aber dann muss am Mikroskop vor jeder Aufnahme jede DIC-Einstellung für sich von neuem optimiert werden(Schärfe, Licht, etc.).
Wie gesagt ging es mir darum zu zeigen, ob ein DIC System in allen Anwendungsbereichen(in dem Fall Wafer-Inspection) eine sinnvolle Anschaffung ist und ob die verschiedenen Einstellungen überhaupt einen Sinn machen oder nicht.

Herzliche Grüsse aus der Schweiz,,, Reto

reblaus · Mai 28, 2014, 14:11:15 NACHMITTAGS

Hallo -

leider kann man ja mit dem Auflicht-DIC bei biologischen Objekten praktisch nichts anfangen und das ist schade, denn der ist wesentlich preisgünstiger zu erwerben als der Durchlicht-DIC, weil keine speziellen Kondensoren mit Prismen nötig sind.
Deshalb habe ich die Anregung aufgegriffen und mir auch solch einen Waver erworben um endlich mal was von meiner Ausrüstung zu haben.
Die ICs haben noch den Vorteil, dass offensichtlich die einzelnen Si-Schichten als Verzögerungsfolien wirken, sodass man auch ohne DIC mit POL schon ästhetische Bilder kriegt, wenn auch nicht so prächtig wie mit DIC-Schieberchen.

Vielen Dank für die Anregung!

Rolf

Markus1201 · Mai 29, 2014, 23:17:19 NACHMITTAGS

Hallo Safari!

Zitat von: Safari in Mai 29, 2014, 22:57:56 NACHMITTAGS
Wenn ich auch fast alle Objektive in der NIC Ausführung habe, fehlen mir die anderen Teile dafür. Was brauche ich an Prismen, oder sonstigen Teilen?

Du brauchst einen drehbaren Polarisator, einen Analysator und die Nomarski Prismen.

Der drehbare Polarisator steckt im Illuminator, zwischen Lampe und Spiegel. Der Analysator steckt im Illuminator, vorne oberhalb des Spiegels. Die Prismen sind zwischen den Objektiven und dem Revolver. Ich hab festgestellt, dass all diese Teile einzeln schwer zu bekommen sind und dann auch eher teuer sind. Viel Glück bei der Suche!

Viele Grüße
Markus

Klaus Herrmann · Mai 29, 2014, 23:20:17 NACHMITTAGS

Hallo Markus,

da hast du doch alles! Hattest du nicht händeringend gesucht?

Markus1201 · Mai 29, 2014, 23:25:12 NACHMITTAGS

Zitat von: Klaus Herrmann in Mai 29, 2014, 23:20:17 NACHMITTAGS
Da hast du doch alles! Hattest du nicht händeringend gesucht?

Das gehört aber leider nicht mir. Das Bild soll nur die einzelnen Komponenten zeigen.

Viele Grüße
Markus

Klaus Herrmann · Mai 30, 2014, 17:04:29 NACHMITTAGS

Hallo Wolfgang,

ich habe die reine Auflichtvariante BHMJ. Die Verhältnisse sind aber bezogen auf das Auflicht identisch. Hab in meinen Proben einen alten Wafer gefunden, den ich mal zum Untersuchen bekam. Schon mit Auflicht-Pol erhält man ganz brauchbare Bilder. Als Drehanalysator habe ich einen vom Vanox 3 eingesetzt, der passt zufällig. Steckt in dem dicken Schlitz im AL-Stahlengang. Der Analysator kommt stirnseitig rein. Der wird gerade angefertigt von Bernd (Nomarski). Jetzt steckt einer von Leica drin, aber Pol ist Pol.

Am Schluss noch ein Anschliff einer Titan-Alu-Legierung poliert und angeätzt.

Die Adaption der EOS ist ganz einfach: NFK 2,5 und Kamera ohne zusätzliche Optik. Ist super parfokal.
Hab leider nur ein 5er und ein 10er Objektiv, aber die sollten ergänzbar sein.

Deine beiden DIC-Prismen sind meiner Meinung nach nur alte und neue Version, Die neue war zum Ausschwenken.