Mikrolithografie

[wilfried48]

Hallo,

angeregt durch die schönen Mikrofotografien, die Ralf Nötzel hier ins Forum eingestellt hat,
habe ich mal versucht mit dem fokussiereten Ionenstrahl (FIB) im Rasterelektronenmikroskop an meiner Arbeitstätte ein wenig Mikrolithografie zu machen.

Anbei die erste Versuch mit einem kleinen Bildchen:



Der Name Ernst Abbe wurde mit einer Schriftbreite von 0,5 µm in einen mit Au bedampften Photolack geätzt.

Oberhalb des Namens wurden zwei Linien mit 0,2 µm Breite und 20 µm Länge in 0,2 µm Abstand geschrieben.

In der Rasterelektronenmikroskopschen Aufnahme sind diese beiden Linien gut aufgelöst.

Aber ich finde auch in der obigen stark herausvergrösserten lichtmikroskopischen Aufnahe sieht man sie gerade noch getrennt, obwohl dies nach der Abbe´schen Auflösungstheorie fast nicht sein kann.

Mikroskopische Aufnahme: Olympus BX51, Auflicht-Interferenzkontrast, Objektiv MSPLAN 50 x 0,8, Halogenbeleuchtung, Weisslichtfilter, Olympus Mikroskopkamera 3Mp

Das Schöne ist, dass man beliebige Strukturen mit einem CAD Programm entwerfen kann und direkt herunterverkleinert in jedes beliebige Material ätzen kann.

Das nächste wird ein Auflösungtestobjekt sein mit mehrern Blöcken von Gitterlinien in Abständen von 2 µm bis herunter zu 0,1 µm gestuft in 0,1 µm Stufen. Aber vielleicht wären auch künstlich geschriebene Diatomeenformen
mit diesen Abstufungen interessant.

Ich werde es hobbymässig weiterversuchen und über die Ergebnisse hier laufend berichten.

lithografische Mikrogrüsse

Wilfried

[Paul Keller]

Lieber Wilfried,
sollten solche Auflicht-Testtafeln einmal auf einer (semi-)kommerziellen Basis erhältlich sein, wäre ich Dir für eine entsprechende Benachrichtigung dankbar!
Eidgenossen-Gruss,
Paul

[abbeköhl]

Hallo Wilfried,,,

Was meinst du dazu  

http://www.youtube.com/watch?v=B9TL2mV9GIU

Ich hoffe es geht in Ordnung, wenn ich solch ein altes Thema nochmals anwärme

Gruess us dä Schwyz,,,Reto

[wilfried48]

Hallo Wilfried,,,

Was meinst du dazu  

http://www.youtube.com/watch?v=B9TL2mV9GIU

Ich hoffe es geht in Ordnung, wenn ich solch ein altes Thema nochmals anwärme

Gruess us dä Schwyz,,,Reto

Oh je, da erinnerst du mich an einen der alten Vorsätze, die ich totz Altersteilzeit und daher vermeintlich mehr Freizeit noch nicht weiterverfolgt habe.

Ja mit dem FIB kann man viel schönes anstellen, wenn man sich erst mal eingearbeitet hat und es laufend betreibt. Es ist eine schöne Mikrofräse.

Ich habe es zum letzten mal vor über einem Jahr verwendet, für Versuche die Ernennungsurkunde von Manfred Kage zum Ehrenmitglied der Tübinger

Mikroskopischen Gesellschaft (TMG) als mikroskopisches Objekt geschmückt mit dem Bild einer Radiolarie zu schreiben.

Dann ist das FIB durch Umbau für ca. 2 Monate stillgelegen und das hat schon gereicht um mein mühsam erworbenes Bedienerwissen über die Lithografiesoftware

so veralten zu lassen, sodass ich mich erst ca. über eine Woche am Stück wieder einarbeiten müsste. Und diese Zeit war halt bisher nie über.

Gruss
Wilfried

[wilfried48]

Hallo,

wenn ich schon aus Zeitmangel hier nicht weiterkomme, wollte ich euch dieses Schmankerl der Mikrolithografie nicht vorenthalten,

das ein Mitarbeiter Firma raith gmbh die Ionenlithografiegeräte herstellt ( www.raith.com ) bei uns im Institut in einem Vortrag vorgestellt hat.

Dazu muss man wissen, der Mitarbeiter ist Fussballfan und die Firma sitzt in Dortmund 



zunächst nichts besonderes aber dann kommt das wichtige Detail:



viel Spass beim Anschauen

Wilfried