Wafer-Fragen: Wie reinigen? Toxizität?

[Peter V.]

Hallo,

für die Einstellung und Überprüfung von Auflicht-DIC verwende ich gerne Bruchstücke von diesem Wafer, der schöne "dreidimensionale" Strukturen aufweist. Ich habe nun noch ein weiteres Bruchstück davon gefunden, das leider lange ungeschützt in einer Regalecke lag und verstaubt ist. Hier drei Quick-and-dirty (dirty ist hier leider doppeldeutig) Handyfotos davon  .

Wie kann ich den mehr oder weniger fest anhaftenden und riechlich vorhandenen Staub (nicht "wegpustbar") am besten entfernen? Kann ich einfach mit Wasser abspülen oder nimmt ein Wafer dadurch Schaden?

Sind solche Wafer eigentlich "giftig"? Dieser Wafer soll ein Silizium-Wafer sein, ich hörte allerdings auch von Galliumarsenid-Wafern. Sind das komplett andere Wafer oder sind auch Silizium-Wafer mit Galliumarsenid "bechichtet"? (Sorry, aber ich kenne mich damit wirklich nicht aus).

Falls es sich um gänzlich unterschiedliche Typen handelt: Kann man Silizium- und Galiumarsenid-Wafer auf einen Blick unterscheiden?

Hezrliche Grüße
Peter

[Werner]

GaAs-Wafer sind dunkler als Si, jedenfalls bei Solarzellen (Satellit) beobachtet.
Üblicherweise wird GaAs nur bei IR-Leds oder im Höchstfrequenzbereich verwendet, es werden aber nur kleine Teile verwendet.
Das Arsen ist hier harmlos, auch beim Abschlecken gelangen keine großen Mengen in den Körper.
Arsenik ist das älteste wirksame Dopingmittel. Trainierte Arsenikesser (alte Bergsteiger) haben 0,5 g Arsenik geschluckt, das ist ein ganz schöner Brocken. (Ich habe es allerdings nicht probiert).

In der Waferfertigung wird nur mit Wasser und etwas Netzmittel gereinigt. Stark verschmutzte alte Wafer erstmal mit (Auto)Benzin entfetten, dann Reinigen mit warmen Wasser, Spüli und Lappen. Danach mit Alkohol nachwaschen und trockenblasen. Die Leiterbahnen sind aus Aluminium, der Rest aus Oxid oder Nitrid, teilweise Golddrähte (8 µm).
Wenn die nicht sauber werden, war es sowieso zu spät, Korrosion zu weit fortgeschritten.

Gruß - Werner

[owl capone]

Vielleicht noch als Zusatz - die Oberfläche von Wafern ist fast immer eine schützenden SiO2 oder SiN Schicht. Also sind ausser an den Bondpads oder an Bruchkanten nur recht chemisch inerte und harmlose Materialien zugänglich.

Gruß, Julius

[Apochromat]

Hallo Peter,

das Galliumarsenid findet auch in kleinen Halbleiterbauelementen für Handys etc. Einsatz. Ja und es stimmt, solche Wafer haben meist einen Orange- Violetten Glanz. Ich habe für solche Wafer bei uns im Labor eine speziell gekennzeichnete Keramikpinzette von RUBIS. GaAs ist vor allem krebserregend, weniger sofort gefährlich. Das mit dem Ablecken kann dann jeder selbst für sich entscheiden. Da manche Wafer noch mit Lackschichten überzogen sind, nehme ich zunächst immer SIDOLIN und Spüliwasser zum Reinigen (Optikputzwatte von KERMA auf einem angespitzten Holzstöckchen). Ob Isopropanol etc. funktioniert, muss man wie bei einem Reinigungsversuch eines empfindlichen Bekleidungsstücks "an einer unauffälligen Stelle" ausprobieren. Nach dem Reinigen Trockenföhnen. Abpusten mit der Gummipuste von GIOTTOS (die Beste).

LG
Michael

[Peter V.]

Lieber Michael,

na ja, das mit dem Abschlecken würde ich auch eher unterlassen wollen  Ich benutze seit Deinem Hinweis per PN auch brav eine Pinzette (wieso verwendest Du eine Keramikpinzette?). Ein Bad in warmem Prilwasser hat das Waferbruchstück übrigens schon deutlich ansehnlicher gemacht, vermutlich wäre es in einem Ultraschallbad auch "porentief rein" geworden.

Danke auch an Werner für die Reinigungstipps.

Herzliche Grüße
Peter

[Apochromat]

Lieber Peter,

RUBIS stellt neben Pinzetten und Scheren für die Kosmetik bis zum Fliegenbinden auch zahlreiche technische Pinzetten und Scheren her. Jetzt sind die alten KERAMIK- Pinzetten aus Kunststoff:

https://www.rubistech.ch/products/full-plastic-tweezers/tweezers-k6/

Damit verkratzt man die Wafer nicht so schnell, wenn man vorsichtig ist.

Liebe Grüße

Michael